calendar的range设置小于1000，会导致同一个实例的setOption方法无法执行。

### Version
5.1.1

### Reproduction link
[https://echarts.apache.org/examples/zh/editor.html?c=calendar-heatmap](https://echarts.apache.org/examples/zh/editor.html?c=calendar-heatmap)

### Steps to reproduce
1. 将案例中的calendar的range设置为"999"，这时console会报一个错误：TypeError: Cannot read property 'slice' of undefined。
2. 如果只是不支持时间小于1000也是能理解，但是这时候继续调用setOption会报错： Uncaught Error: `setOption` should not be called during main process.。
3. 猜测是第一步的错误导致setOption中变量IN_MAIN_PROCESS_KEY的状态没有正确更新，导致后续无法再次调用setOption。

### What is expected?
希望canlendar部分代码报错不要影响setOption的正常使用。

### What is actually happening?
canlendar部分代码报错导致setOption无法再次调用。

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如果每次都销毁实例，然后再调用setOption，是可以正常使用的。

Open the linked calendar-heatmap reproduction and set the calendar range to "999". Trace the calendar error producing the undefined slice result and then call setOption again; done means the calendar failure does not leave setOption reporting that it is still in the main process.

Written by the indexing model from the issue text.